雷尼紹增量式直線光柵尺用ZeroMet?（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的銦鋼柵尺，具有20 μm柵距的增量式刻線。它可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，在1.5 m長度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±1.5 μm。

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雷尼紹增量式直線光柵尺
用ZeroMet?（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的銦鋼柵尺，具有20 μm柵距的增量式刻線。它可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，在1.5 m長度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±1.5 μm。雷尼紹增量式直線光柵尺ZeroMet在20 °C時的熱膨脹系數(shù)為0.75 ±0.35 μm/m/°C。系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員可根據(jù)要求選擇背面自帶的特殊配方不干膠帶或用機(jī)械夾具進(jìn)行安裝。兩種安裝方式都有助于使柵尺不受基體熱膨脹影響。
雷尼紹增量式直線光柵尺
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