該供氣系統(tǒng)是一種可控制二種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置，質量流量計安裝于密封的可移動機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制，此款設備與BEQ品牌的各款真空管式爐和真空機組組成CVD系統(tǒng)。

安徽貝意克設備技術有限公司是一家專注于新材料、新能源、高端裝備設備的研發(fā)生產與一體的高新技術企業(yè)，合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司擁有400平米的重點實驗室，部分實驗室對外開放。公司擁有31項，其中發(fā)明6項、實用新型23項、外觀2項。涉及領域包括，石墨烯、碳納米管、高溫熒光粉、OLED有機小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。公司產品有智能高低溫CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐、高低溫箱式爐、等離子清洗設備、RF濺射設備、各種壓力的手動自動壓片機、各種功能尺寸的手套箱、球磨機、氧化鋯齒科燒結爐等。

技術參數：

工作電壓：185~245V，50 Hz

最大輸出功率：18W

流量計標準量程：100sccm 200sccm 500sccm（非特殊指定以氮氣標定，量程可選）

工作溫度：4~45℃

工作壓差：0.1~0.5Mpa

最大壓力：3Mpa

準確度：±1.5%F.S

壓力表測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：316不銹鋼

混氣罐：Φ80*120mm

截止閥：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm

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