TMC 主動氣浮振動阻尼系統(tǒng)特點(diǎn)：1.六自由度主動振動阻尼系統(tǒng)2 .或集成的強(qiáng)力電磁致動器 3. 數(shù)字控制器 4. 非接觸式電子高度控制閥

森泉光電是專業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域儀器設(shè)備代理與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)商，專注于光電產(chǎn)品及輔助設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、代理與銷售。業(yè)務(wù)范圍涵蓋國內(nèi)各大高校、科研院所及眾多zhi 名企業(yè)，深受廣大用戶歡迎。 公司代理和經(jīng)銷的產(chǎn)品種類十分豐富，涉及到激光、光學(xué)、光電子、光通訊、微機(jī)電、自動化、物理、化學(xué)、電子、生物、農(nóng)業(yè)等等領(lǐng)域?？蔀榭蒲屑捌髽I(yè)用戶提供光學(xué)實(shí)驗(yàn)及檢測的全套解決方案，并提供全面的售前、售中、售后支持與服務(wù)。

TMC 主動氣浮振動阻尼系統(tǒng)

特點(diǎn)：

1.六自由度主動振動阻尼系統(tǒng)

2 .或集成的強(qiáng)力電磁致動器

3. 數(shù)字控制器

4. 非接觸式電子高度控制閥

優(yōu)點(diǎn)：

1、減小載荷運(yùn)動和調(diào)整時間
2、更高的分辨率
3、模塊化設(shè)計(jì)允許用戶一個完整的單元或組件，方便OEM集成
4、前饋參數(shù)自動調(diào)節(jié)，簡化設(shè)置

TMC 主動氣浮振動阻尼系統(tǒng)

Electro-Damp®是款商業(yè)化、主動的隔振系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)來增加半導(dǎo)體制造應(yīng)用的分辨率以及產(chǎn)量。Electro-Damp®II是對原始系統(tǒng)wan 全重新的設(shè)計(jì)，添加了模塊、數(shù)字控制、前饋控制，強(qiáng)力/高清晰度致動器，以及專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用如顯微光刻法，檢驗(yàn)和計(jì)量工具的多個數(shù)字用戶接口。

半導(dǎo)體制造工具的放置需要隔振系統(tǒng)。針對地板噪聲，系統(tǒng)bi 須“軟”以便有效過濾地板振動達(dá)到隔振效果。同時，系統(tǒng)bi 須“硬”來響應(yīng)平臺受力。

除了利用慣性、主動反饋?zhàn)枘幔珽lectro-DampII還使用前饋信息進(jìn)一步提高系統(tǒng)響應(yīng)。前饋控制器的工作原理是通過具有平臺位置以及加速度信息的平臺控制器獲得信息，然后經(jīng)過數(shù)據(jù)處理后提供力用于驅(qū)動負(fù)載，大大減少載荷運(yùn)動。DC2000數(shù)字控制器還可以利用平臺測試模式自動調(diào)節(jié)前饋所需的參數(shù)。這使得初始安裝或改變有效載荷后的設(shè)置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)使用電子伺服閥或者電磁驅(qū)動，或者對于苛刻的應(yīng)用程序兩者結(jié)合使用。

TMC 主動氣浮振動阻尼系統(tǒng)
Specifications-

(may vary depending upon configuration)

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