目前測(cè)試電阻率的方法有很多，今天我們就介紹下常用的四點(diǎn)探針?lè)娮杪蕼y(cè)試儀，也叫四探針?lè)阶?span>/電阻率測(cè)試儀；與傳統(tǒng)的四端法電阻率測(cè)試儀的區(qū)別，很多用戶常常搞不清楚，而且經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)買錯(cuò)，從而給生產(chǎn)生活帶來(lái)困惑；今天就從以下幾個(gè)方面來(lái)講解：
一、 測(cè)量原理不同
1.1. 四端法是上通用的測(cè)量低值電阻的標(biāo)準(zhǔn)方法之一，它是通過(guò)測(cè)量待測(cè)電阻兩端電
壓和流經(jīng)的電流來(lái)確定數(shù)值的，一般來(lái)說(shuō)測(cè)試的都是材料體積電阻，也就是體積電阻率
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2. 四點(diǎn)探針?lè)ㄓ址Q四探針?lè)ㄍǔＳ脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率。四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn)，它不需要校準(zhǔn)；有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄐ?zhǔn)。
四端法的原理是恒流電源通過(guò)兩個(gè)電流探針將電流供給待測(cè)低值電阻，電壓則通過(guò)兩個(gè)電壓引線來(lái)測(cè)量由恒流電源所供電流而在待測(cè)低值電阻上所形成的電位差Ux。由于兩個(gè)電流引線在兩個(gè)電壓引線之外
四探針一般測(cè)試的都是厚度在4mm以內(nèi)的涂層或者薄層材料，當(dāng)然還有些電類材料雖然厚度較厚，但是也適用這種方法來(lái)測(cè)量.
，因此可排除電流引線接觸電阻和引線電阻對(duì)測(cè)量的影響。又由于數(shù)字電壓表的輸入阻抗很高，電壓引線接觸電阻和引線電阻對(duì)測(cè)量的影響可忽略不計(jì)。
四端法具有直接，且克服觸點(diǎn)電阻和引線電阻等特點(diǎn)，適用于各類電阻的測(cè)量，尤其是低值電阻的測(cè)量。
二、 測(cè)試方法不同
四端法測(cè)試的是材料的體積電阻，電流流過(guò)被測(cè)樣品整個(gè)體積，在電流流過(guò)的方向上取值電壓，而四探針?lè)ㄖ饕窃跍y(cè)試被測(cè)樣品的面電阻，也就是整個(gè)探針間距電流擴(kuò)散在整個(gè)樣品表面的電阻，所以也稱為表面電阻測(cè)試，這個(gè)方法更多適用于半導(dǎo)體備制下對(duì)電導(dǎo)率的分析，比如，涂層材料，復(fù)合材料，高純材料的測(cè)量
三、 測(cè)試結(jié)果的計(jì)算方法不同
1.四端法的計(jì)算方法：R=U/I
3. 四探針?lè)ㄓ?jì)算就比較復(fù)雜了，測(cè)試等效電路
4. 
4.四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：
直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
![RSU]DP21QF%$PNBYBME59TE](file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image010.jpg)
四探針測(cè)試結(jié)構(gòu)圖8
當(dāng)電流通過(guò)1、2探針，4、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
從以上計(jì)算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無(wú)關(guān)．針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無(wú)任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對(duì)測(cè)試結(jié)果更加。
2.儀器工作原理圖
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圖9
舉例說(shuō)明
設(shè)置鍵 系統(tǒng)鍵
USB接口 液晶顯示器 顯示鍵 數(shù)字鍵 觸發(fā)鍵
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確定
退格
電源開關(guān) 接地 測(cè)試接線端口
功能選擇鍵 方向鍵 確定鍵
圖為：FT-340系列四探針電阻率測(cè)試儀
技術(shù)參數(shù)介紹
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規(guī)格型號(hào) |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
FT-334 |
FT-335 |
FT-336 |
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1.方塊電阻范圍 |
10-5～2×105Ω/□ |
10-4～2×103Ω/□ |
10-3～2×105Ω/□ |
10-3～2×103Ω/□ |
10-2～2×105Ω/□ |
10-2～2×103Ω/□ |
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2.電阻率范圍 |
10-6×106Ω-cm |
10-5×104Ω-cm |
10-4～2×106Ω-cm |
10-4～2×104-cm |
10-3～2×106Ω-cm |
10-3～2×104-cm |
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3.測(cè)試電流范圍 |
0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
10μA，100µA，1mA，10mA， 100 mA |
0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
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4.電流精度 |
±0.1%讀數(shù) |
±0.2%讀數(shù) |
±0.2%讀數(shù) |
±0.3%讀數(shù) |
±0.3%讀數(shù) |
±0.3%讀數(shù) |
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5.電阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.5% |
≤0.5% |
≤0.5% |
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6.顯示讀數(shù) |
液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
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7.測(cè)試方式 |
普通單電測(cè)量 |
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8.工作電源 |
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W |
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9.整機(jī)不確定性誤差 |
≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
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