產(chǎn)品簡介
13.56MHz射頻電源輸出功率可達(dá)500W到1250W，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
公司簡介
吉兆源科技有限公司是一家致力于射頻技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)和研發(fā)的高科技技術(shù)企業(yè)。 公司主要研發(fā)和生產(chǎn)射頻電源、射頻自動(dòng)匹配器及濺射用直流電源。
吉兆源與國外知名射頻企業(yè)保持著深層次的技術(shù)交流，真正了解國外射頻技術(shù)核心，吉兆源采取靈活的合作模式，國內(nèi)外工程師平均設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)?zāi)晗薅即笥?5年，已經(jīng)形成有別于其他國內(nèi)射頻電源公司的差異化競爭優(yōu)勢。并在延續(xù)、吸收國外設(shè)計(jì)理念、技術(shù)的基礎(chǔ)上研發(fā)出了國內(nèi)自己的射頻產(chǎn)品，使公司成為國內(nèi)真正搞自主研發(fā)并成功為國內(nèi)客戶替換掉了多款國外射頻產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè)，并為國內(nèi)生產(chǎn)的高端設(shè)備射頻電源的國產(chǎn)化提供了可靠的國內(nèi)方案。
公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)理念起步于國外半導(dǎo)體領(lǐng)域，立足于國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用，成功迎合本土化需求，多年參與半導(dǎo)體設(shè)備射頻電源設(shè)計(jì)、調(diào)試和服務(wù)。具有豐富的半導(dǎo)體設(shè)備服務(wù)能力，也以此保證了公司產(chǎn)品的頂端優(yōu)勢。
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產(chǎn)品說明
產(chǎn)品性能
該13.56MHz射頻電源出功率可達(dá)500W到1250W，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。13.56MHz射頻電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。
13.56MHz射頻電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對(duì)象
該電源可以作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。
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