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質(zhì)量流量控制器        型號；MHY-22516

MHY-22516型 質(zhì)量流量控制器

儀器簡介：

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量行密地測量和控制。廣泛用于電子藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

術(shù)參數(shù)：

滿量程流量范圍（N2）        5SCCM～10SLM
控制范圍           2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態(tài)）         電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度             ±1.5％F.S.
線性        ±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)度           ±0.2％F.S.
響應(yīng)時間           ≤7sec
作溫度范圍            5～45℃
作壓差             0.1～0.5MPa
耐壓            3MPa
漏氣率           1×/sec He
密封材料              氟橡膠（或氯丁橡膠）
電插頭形式                 DB15 pin（Female）
接頭選擇      VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose               Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量   1.1Kg