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企業(yè)認(rèn)證: 價(jià)格:電議
所在地:北京
型號(hào):RHA-DC-A
更新時(shí)間:2018-01-11
瀏覽次數(shù):1491
公司地址:北京市門頭溝石龍經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)永安路20號(hào)石龍高科大廈
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李冉(女士) 業(yè)務(wù)員
導(dǎo)電微晶靜電場(chǎng)測(cè)試儀/靜電場(chǎng)測(cè)試儀 型號(hào);RHA-DC-A
四探針測(cè)試儀/四探針電阻率測(cè)試儀/四探針檢測(cè)儀/單測(cè)四探針檢測(cè)儀(接電腦,含自動(dòng)測(cè)試臺(tái)) 型號(hào):RHA-GSZ-RTS-4(SDY-4替代)
RHA-GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RHA-GSZ-RTS-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù):
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測(cè)量范圍
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電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm; |
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可測(cè)晶片直徑
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140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)); 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)); 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)); |
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恒流源
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電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、超量程自動(dòng)顯示; |
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) |
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5% |
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計(jì)算機(jī)通訊接口
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并口 |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度:23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強(qiáng)光直射; |
四探針電阻率測(cè)試儀/四探針電阻率儀/方阻測(cè)試儀/方阻儀/四探針電阻率測(cè)定儀(自動(dòng)測(cè)試臺(tái)+帶軟件) 型號(hào):RHA-KDK-KDY-1
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀)是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱:主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
(1)測(cè)量范圍:
可測(cè)電阻率:0.0001~19000Ω•cm
可測(cè)方塊電阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測(cè)量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度)
備注:
等級(jí)測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻率),精度<3%
電氣測(cè)量時(shí)(測(cè)電阻),精度在0.3%以內(nèi)
備注:
儀器包括:主機(jī)一臺(tái);測(cè)試架(包括臺(tái)面)一個(gè);四探針頭1個(gè);軟件
免責(zé)聲明:以上所展示的[RHA-DC-A 導(dǎo)電微晶靜電場(chǎng)測(cè)試儀/靜電場(chǎng)測(cè)試儀]信息由會(huì)員[北京潤(rùn)恒奧儀器儀表設(shè)備有限公司]自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)。