無論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工,還是采用電子顯微鏡進行納米操作,盡管其精度要求各不相同,但在硬件裝備中均有一項共性的關(guān)鍵技術(shù),那就是要解決載物臺或其相應(yīng)設(shè)備的的自動測量和定位。要實現(xiàn)這項關(guān)鍵技術(shù),控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng),用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。

顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用ZNXsensor電容傳感器測量反彈的微小位移。

ZNXsensor電容傳感器是一種非接觸式的電容傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

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