波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀是利用原級(jí)X射線或其他光子源激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線）。從而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。它的優(yōu)點(diǎn)是不破壞樣品，分析速度快，適用于測(cè)定原子序數(shù)4以上的所有化學(xué)元素，分析精度高，樣品制備簡(jiǎn)單。
    X射線熒光光譜分析技術(shù)目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無(wú)機(jī)分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無(wú)機(jī)材料中主組分分析zui重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的工作過程是怎樣的呢？
    XRF工作原理是X射線光管發(fā)出的初級(jí)X射線照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當(dāng)外層電子躍遷時(shí)產(chǎn)生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線波長(zhǎng)（或能量）和強(qiáng)度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達(dá)到定性定量分析的目的。
    X射線是一種波長(zhǎng)較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
    根據(jù)經(jīng)典電磁理論，運(yùn)動(dòng)的帶電粒子的運(yùn)動(dòng)速度發(fā)生改變時(shí)會(huì)向外輻射電磁波。實(shí)驗(yàn)室中常用的X射線源便是利用這一原理產(chǎn)生的：利用被高壓加速的電子轟擊金屬靶，電子被金屬靶所減速，便向外輻射X射線。這些X射線中既包含了連續(xù)譜線，也包括了特征譜線。
    連續(xù)光譜是由高能的帶電粒子撞擊金屬靶面時(shí)受到靶原子核的庫(kù)侖力作用，突然改變速度而產(chǎn)生的電磁輻射（如圖1）。由于在撞擊時(shí)，有的帶電粒子在一次碰撞中損失全部能量，有的帶電粒子同靶發(fā)生多次碰撞逐步損失其能量，直到完全喪失為止，因而產(chǎn)生的波長(zhǎng)是具有連續(xù)分布的電磁波。因此，它也稱為韌致輻射、白色X射線或多色X射線。
    X射線或其他光子源激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線）。從而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。色散型又分為波長(zhǎng)色散型和能量色散型。波長(zhǎng)色散型XRF光譜儀由X射線管激發(fā)源，分光系統(tǒng)，探測(cè)器系統(tǒng)，真空系統(tǒng)和氣流系統(tǒng)等部分組成。根據(jù)分析晶體的聚焦幾何條件不同,分為非聚焦反射平晶式,半聚焦反射彎晶式，全聚焦反射彎晶式，半聚焦透射彎晶式等。其原理是:試樣受X射線照射后，元素的原子內(nèi)殼層電子被激發(fā)，并產(chǎn)生殼層電子躍遷而發(fā)射出該元素的特征X射線，通過探測(cè)器測(cè)量元素特征X射線的波長(zhǎng)（能量）的強(qiáng)度與濃度的比例關(guān)系，便可進(jìn)行定量分析。