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公司名稱:北京恒奧德儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品詳情

射頻磁控濺射鍍膜裝置 DH-RM-1

  • 產(chǎn)品/服務(wù):射頻磁控濺射鍍膜裝置 DH-RM-1
  • 型 號(hào):DH-RM-1
  • 單 價(jià):面議 
  • 更新日期:2024-03-07
  • 有效期至:長(zhǎng)期有效
  • 瀏覽次數(shù):3128
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號(hào):DH-RM-1射頻磁控濺射鍍膜裝置 主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開(kāi)發(fā)納米單層膜;如各種硬...

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號(hào):DH-RM-1
射頻磁控濺射鍍膜裝置 主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開(kāi)發(fā)納米單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢孕兄苯訛R射,亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。
射頻磁控濺射鍍膜裝置 主要特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷、操作簡(jiǎn)便,真空度維護(hù),安。
鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無(wú)塵埃、無(wú)腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。
1、地面的基本水平度要經(jīng)過(guò)調(diào)整,不得低不平;
2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;
3、相對(duì)濕度:不大于75%;
4、耗水量(水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;
5、水質(zhì)要求:
矽酸硬度<6度,PH值:7-8,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。
6、電壓: 220V,50HZ,
電壓波動(dòng)范圍: 198~231V;
頻率波動(dòng)范圍:49~51Hz;
7、水壓:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;
8、充入氣體純度99.9%或以上;
9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。
北京恒奧德儀器儀表有限公司
聯(lián)系方式:/57696
:/
: 凡經(jīng)理
地址 : 北京市海淀區(qū)阜城路42號(hào)院中裕商務(wù)花園6C-211

郵箱 :hadgs2009@163.com
網(wǎng)址 :http://www.51658042.com。 http://www.had200911.cn
: http://had200911.b2b.hc360.com。54pc.com/netshow/20100104193745/
QQ : 1968156761 1169121880 236261341
設(shè)備規(guī)格參數(shù)
1.1、濺射處理室:
1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×度260mm;
2、試樣臺(tái):直徑80mm(zui大);
3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;
4、擋板:手動(dòng);
5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);
6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;
7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;
8、濺射室限真空:0.5Pa
1.2、真空系統(tǒng):
1、抽氣系統(tǒng):由機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S
2、真空檢測(cè):電阻真空計(jì)、電阻規(guī);
3、常用真空度:1~20Pa
4、操作:手動(dòng)
1.3、濺射電源:
1、射頻電源:頻率13.560MHZ,率:500W,用表示;
2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω;
3、供電:AC 220V;
4、冷卻方式:風(fēng)冷;
1.4、 磁控靶:
1、靶材直徑:Ф50mm、 個(gè)磁靶;
2、靶材厚度:3~6mm;
1.5、氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計(jì)氣,
1.6、電源要求:AC 220V 50Hz 10A
1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時(shí)使用純)
1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷
1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

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